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全球半导体设备市场也呈现显著增长,SEMI数据显示,2025年第一季度全球半导体设备出货金额同比增长21%,达到320.5亿美元,晶圆厂设备支出同步增长。
机器手臂在几乎无尘的洁净室里穿梭,从晶舟中取出比头发丝还薄的硅晶圆,精确地送至各个加工设备。这段看似简单的传送过程,要求的定位精度高达微米级,相当于将误差控制在...
在全自动晶圆搬运系统前,一台双臂机器人正灵活地移动晶圆,凭借其超高的定位精度和防抖设计,成为高端半导体生产线不可或缺的关键设备。
HIWIN晶圆机器人作为半导体制造中的关键自动化设备,能够在Class 1甚至更高洁净度要求的环境中,实现晶圆的高速、高精度搬运,定位精度可达±0.1mm,重复定位精度更高达±0...
在现代半导体、LED和面板制造业中,晶圆搬运机器人的性能直接决定着生产线的节拍与产能。一台高效、稳定的搬运机器人,是连接各个精密工序、实现自动化流畅运转的核心枢纽。...
晶圆处理机器人并非简单的搬运机械臂,它是一套高度集成的精密系统。
HIWIN晶圆清洗搬运机器人解决方案针对半导体前道制程设计,其核心在于实现 300mm晶圆盒(FOUP) 在EFEM(设备前端模块)与清洗单元间的高精度、高效率、零污染传输。方案将...
随着半导体工艺向更小节点迈进,晶圆制造的复杂性与精度要求呈指数级提升。在此背景下,专用的晶圆搬运与处理机器人已成为保障产线效能、提升良率的核心设备之一。以HIWIN为...