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在半导体制造的复杂工序中,晶圆传送的精准性与洁净度直接决定着芯片的良率与生产效率。HIWIN双臂晶圆机器人RWD系列,正是为应对这一核心挑战而设计的高端自动化解决方案。
在半导体制造前道工序中,晶圆片寻边器(Wafer Pre-Aligner)的性能直接决定了光刻、刻蚀等核心环节的良率与效率。
HIWIN边缘接触式晶圆寻边器采用被动式柔性接触技术,在寻边过程中仅以可控的微小力量接触晶圆边缘,接触力可精确控制在0.05N至0.3N之间,既避免了晶圆应力的产生,又确保了...
HIWIN真空晶圆搬运机器人,凭借其高精度、高稳定性的卓越性能,已成为半导体制造等精密产业自动化升级的关键设备。其采用的软硬件垂直整合技术,确保了在高速运行下的可靠性...
在半导体制造这个纳米级竞逐的领域,晶圆传输系统的稳定性与洁净度直接决定最终良率。作为全球传动控制与系统科技领域的专业制造者,HIWIN(上银科技)凭借超过三十年的技术...
相较于6英寸或8英寸晶圆,12英寸晶圆对寻边技术提出了前所未有的挑战。
在半导体制造业中,晶圆的高效、精准移载是保障生产效率与产品良率的关键环节。晶圆移载系统通过自动化机械装置,能够在严苛的无尘环境中实现晶圆的安全转移与定位。
晶圆寻边器,也被称为预对准器,其主要任务是在晶圆进入加工设备前,快速、精确地确定其圆心位置和定向缺口(Notch或Flat)的朝向。