手机：18913139319
邮箱：wangqian@zhouchengsh.com
地址：上海市松江区北松公路5239号2栋
HIWIN晶圆机器人作为半导体产线上的精密执行单元，凭借原创性的结构设计与稳定的运动控制，正成为解决高端制造定位难题、提升综合设备效率（OEE）的关键一环。
在半导体制造向3纳米及更先进制程迈进的今天，晶圆传输的精度与洁净度直接决定了最终的良率。作为全球传动与控制技术的领先制造商，HIWIN（上银科技）凭借其在滚珠丝杠、直...
在半导体制造过程中，晶圆需要在不同工艺设备之间频繁、快速地传输。每一次搬运的稳定性、洁净度与定位精度，都直接影响到最终芯片的良率。传统人工或非专用自动化设备，易...
在半导体制造中，晶圆搬运环节的稳定性与洁净度直接决定良率与产出效率。HIWIN晶圆搬运机器人（Wafer Handling Robot）凭借±0.05mm重复定位精度与Class 1级洁净室兼容性，...
半导体制造前段工序中，晶圆在刻蚀、沉积、光刻等工艺腔室间的快速、洁净、精确定位传输，直接决定良率与产出效率。作为全球传动控制领域专业制造商，HIWIN依托自主研发的直...
HIWIN晶圆搬运机器人依托集团32年精密传动技术积累，采用模块化真空兼容设计，整机颗粒排放等级达到ISO Class 3级（0.1μm颗粒数≤10个/立方米），配合±0.1mm重复定位精度...
HIWIN作为全球传动控制领域的技术领先者，其晶圆搬运机器人系列专为12英寸及以下晶圆的大气与真空环境传输设计，以高刚性结构、主动抑振算法与模块化设计，为半导体前道、后...
针对12英寸及以下晶圆制程中的高速、无尘、微震动传输需求，HIWIN自主研发的晶圆搬运机器人系列，以±0.1mm的重复定位精度和Class 1级洁净室兼容能力，为前段工艺（如光刻、...
微信扫一扫
客服