在晶圆制造与先进封装向更大尺寸基板演进的过程中,设备前端模组(EFEM)的整合能力与传输精度直接决定了封装良率与产出效率。HIWIN凭借从精密传动元件、晶圆机器人到驱动控制器的垂直整合优势,其EFEM方案已在FOPLP(面板级扇出型封装)等新兴领域实现突破性应用。
一、EFEM整合方案:弹性配置与客制化能力
HIWIN晶圆移载系统(EFEM)是完整的自动化解决方案,透过垂直整合自行研发之控制系统,能弹性选配Wafer ID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席感测等周边配件进行规划,并依产品规格搭配对应款式之晶圆机器人,有效针对不同制程及应用提供客制化服务,使客户的设备和制程更具效率与竞争力。
二、面板级封装PLP方案:大尺寸基板的精密移载
针对FOPLP这一新兴趋势,HIWIN推出了专用移载方案。其PLP专用EFEM可适配510mm×515mm与600mm×600mm两种主流面板尺寸,支持厚度0.2mm至4mm、翘曲量±12mm的基板。该方案整合了双轴双臂机器人与高刚性直线导轨,在紧凑占地内实现了±0.1mm的重复定位精度。同时,其末端执行器支持真空吸取与夹持式互换,可灵活应对玻璃基板与金属框架等不同材质。
三、AI即时监测:边缘运算赋能智慧制造
HIWIN已将边缘AI解决方案导入Load Port与EFEM系统。透过搭载边缘处理器的影像模组与感测元件整合,系统可实时监测载具对接状态与异常判读,在高节拍运转下强化自主判断与即时修正能力。结合大银微系统的高精度奈米级平台(Stage),其伺服稳定度优于±2奈米,在晶圆封装、检测等关键制程中为客户提供整体解决方案(Total Solution)。
四、集团产品生态系:从关键零组件到系统整合
HIWIN集团旗下拥有上银科技与大银微系统,产品线涵盖滚珠丝杠、直线导轨、直线电机、驱动器、精密定位平台、谐波减速机、晶圆机器人、工业机器人及Torque Motor回转工作台等精密传动零部件,广泛应用于半导体、精密机床、智能自动化、生技医疗等领域。苏州厂区占地80,000平方米,作为大陆营运总部,具备仓储物流、精密机械加工、机器人加工和研发中心等完整功能。
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